半自动台阶仪JS100B提供两个彩色摄像头对样品和针尖同时成像,可无畸变的观察样品区,方便定位特征区域,同时探针扫描时可实时观察扫描区域,拥有高精度、高分解能,搭配一体花岗岩结构,提供稳定可靠的重复性测量。
纳米级测试精度,标准偏差0.5nm以内
可测样品厚度范围0-10mm;超出可定制
操作流程直观,软件紧密贴合客户需求,上手更快
仪器结构模块化设计,安装维护简易快捷
大行程超平面扫描技术(行程55mm,平坦度优于20nm)
超微压力,恒定控制(探针压力0.5~50mg)
大带宽大行程,纳米微动台技术(行程80um,分辨率0.05nm,带宽10KHz)
稳定的重复性
1um标准样品30次扫描偏差极值小于10nm,准确度(1σ)小于0.5nm。
实时观察扫描区域
金刚石针尖
无畸变的观察样品区
半导体、太阳能、LED、光电子、生物医学器件、MEMS、薄膜化学、图层、平板显示、触摸屏、材料学
测金属片
测膜厚
测电极