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全自动台阶仪

全自动台阶仪JS2000B提供两个彩色摄像头对样品和针尖同时成像,可无畸变的观察样品区,方便定位特征区域,同时探针扫描时可实时观察扫描区域。
产地:中国
品牌:ZEPTOOLS
型号:JS2000B
规格:暂无
适用行业:

全自动台阶仪产品介绍

全自动台阶仪JS2000B提供两个彩色摄像头对样品和针尖同时成像,可无畸变的观察样品区,方便定位特征区域,同时探针扫描时可实时观察扫描区域。

产品特色

纳米级测试精度,标准偏差0.5nm以内

可测样品厚度范围0-10mm;超出可定制

操作流程直观,软件紧密贴合客户需求,上手更快

仪器结构模块化设计,安装维护简易快捷

大行程超平面扫描技术(行程55mm,平坦度优于20nm)

超微压力,恒定控制(探针压力0.5~50mg)

大带宽大行程,纳米微动台技术(行程80um,分辨率0.05nm,带宽10KHz)

产品优势

量测精确、功能丰富、一体式集成、模块化设计、售后便捷、极高性价比

应用领域

刻蚀、沉积和薄膜等厚度测量

薄膜多晶硅等粗糙度、翘曲度等材料表面参数测量

各式薄膜等应力测量

3D扫描成像

计划任务和多点扫描

批量测试晶圆,批量处理数据等

应用示例

18nm样品扫描图

68um样品扫描图

全自动台阶仪延伸技术资料
该产品暂无相关技术文献
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