全自动台阶仪JS2000B提供两个彩色摄像头对样品和针尖同时成像,可无畸变的观察样品区,方便定位特征区域,同时探针扫描时可实时观察扫描区域。
纳米级测试精度,标准偏差0.5nm以内
可测样品厚度范围0-10mm;超出可定制
操作流程直观,软件紧密贴合客户需求,上手更快
仪器结构模块化设计,安装维护简易快捷
大行程超平面扫描技术(行程55mm,平坦度优于20nm)
超微压力,恒定控制(探针压力0.5~50mg)
大带宽大行程,纳米微动台技术(行程80um,分辨率0.05nm,带宽10KHz)
量测精确、功能丰富、一体式集成、模块化设计、售后便捷、极高性价比
刻蚀、沉积和薄膜等厚度测量
薄膜多晶硅等粗糙度、翘曲度等材料表面参数测量
各式薄膜等应力测量
3D扫描成像
计划任务和多点扫描
批量测试晶圆,批量处理数据等
18nm样品扫描图
68um样品扫描图