台式扫描电子显微镜ZME 20采用更加宽泛的加速电压,1KV步进,换样时间仅需30秒,最大放大36万倍,分辨率5nm@20kV。标配减速模式,满足弱导电样品不喷金直接观察、电子束敏感样品无损观察的要求。
换样时间仅需30s
超大样品仓185*176*125(长*宽*高)mm
1-60Pa 低真空模式选配
10kV样品台高压减速选配
增加样品仓内摄像头,可实时观察样品仓内情况
软件升级自动亮度对比度、自动聚焦、自动消像散、大图拼接等功能模块
枪头一直维持5*10-5pa真空,大大提高钨灯丝使用寿,同时可选配LaB6灯丝
五轴中心样品台选配
丰富的原位扩展接口,可搭配拉伸台、加热台、TEC冷台、纳米压痕等原位产品
支持寄样测试
台式扫描电子显微镜ZEM 20广泛运用在电子半导体/工业检测、功能无机材料/化工、科研教学/生命科学、新能源材料等行业。
型号 | ZEM 20台式扫描电子显微镜 |
环境要求 | AC 220V,50Hz,1kW,无需减震台 |
加速电压 | 3kV~18kV连续可调,1kV步进 |
电子枪 | 预对中钨灯丝,一体式聚光镜,无需手动调节物镜光阑,可选配LaB6灯丝 |
放大倍数 | 25~360000倍 |
探测器 | 四分割背散射电子探测器、二次电子探测器、集成式能谱仪(选配) |
样品台行程 | 三轴:X:60mm,Y:60mm,T:±45° 五轴(选配):X:90mm,Y:50mm,2:25mm,R:360°,T:-10°-90° |